申请号: CN201510736882.2专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所发明人: 毛红菊程祖乐冒海蕾白亚楠张宏莲金庆辉赵建龙申请日期: 2015-11-03授权公告日: 2018-09-25专利类型: 发明