申请号: CN'201510894463.1专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所发明人: 毛红菊王萍赵建龙金庆辉胡斌李三强刘慧颖申请日期: 2015-12-07授权公告日: 2019-02-26专利类型: 发明